Усовершенствовать одну из ключевых технологий производства наноразмерных пленок из соединений металлов смогли специалисты ТПУ. По словам авторов, разработка позволит быстрее и с большей точностью получать изделия, востребованные в электронике и оптике, в ядерной, космической и других сферах. Результаты исследования будут представлены на Международном конгрессе по радиационной физике и энергии EFRE-2022, сообщили в пресс-службе вуза.
Магнетронное распыление — один из самых популярных методов производства тонкопленочных изделий из металлов и их соединений, рассказали ученые. Он позволяет получать покрытия толщиной от 10 нанометров до единиц микронов за счет бомбардировки металлической мишени ионами плазмы.
